Fotonik integratsiyalashgan zalni (rasm) moddiy tizim

Fotonik integratsiyalashgan zalni (rasm) moddiy tizim

Silikon fotonikasi - bu turli funktsiyalarga erishish uchun to'g'ridan-to'g'ri yorug'lik asosida kremniy materiallari asosida tekislik tuzilmalariga asoslangan tartib-intizom. Biz bu erda tolali aloqa uchun uzatgichlar va qabul qiluvchilarni yaratishda kremniy fotonikasini qo'llashga qaratamiz. Berilgan o'tkazish qobiliyati, ma'lum bir izi bilan ko'proq yuqtirish kerakligi sababli va berilgan xarajat kuchayadi, kremniy fotonikasi yanada iqtisodiy jihatdan aylanadi. Optik qismi uchunFotik Integratsiya texnologiyalariFAQAT ishlatilishi kerak va bugungi kunda izchil linbo3 / Planar engil to'lqinlar (PLC) modulyatorlari va INP / PLC qabul qiluvchilar yordamida qurilgan.

1-rasm: Odatda ishlatiladigan fotonik informatsiyalarni (rasm) moddiy moddiy tizimlarni ko'rsatadi.

1-rasmda eng mashhur rasmlarning eng mashhur moddiy tizimlari ko'rsatilgan. Chapdan o'ngga, kremniyga asoslangan kremniy rasmlari, kremniyga asoslangan iztirori, lityum Niobate (Linbo3), INP va Guruh kabi III-V guruh rasmlari. Ushbu hujjat kremniylarga asoslangan fotonikalarga qaratilgan. IchidaSilikon fotonikasiYengil signal asosan silikonda sayohat qiladi, bu esa 1,12 elektron elts (1,1 mikronli to'lqin uzunligi bilan). Silikon pechkalardagi toza kristallar shaklida o'stiriladi va keyinchalik diametri 300 mm bo'lgan holda, u holda yig'iladi. Gilliali qatlamni hosil qilish uchun gofal yuza oksidlanadi. Onazerlardan biri vodorod atomlari bilan ma'lum chuqurlikka bombardimon qilinadi. Keyin ikkalasi vakuum va ularning oksidi qatlamlari bir-biriga bog'lanib qolmoqda. Majburiyat vodorod ion implantatsiya chizig'i bo'ylab buziladi. Keyin yoriqdagi kremniy qatlami jilolanib, oxir-oqibat in kremniyning tepasida silika qatlamining tepasida joylashgan in kremniyning yuqori qatlamini qoldiradi. To'lchagichning ushbu nozik kristal qatlamidan hosil bo'ladi. Ushbu kremniy asosidagi izolyator (Soi) Daoftlar kam uchraydigan kremniy fotonikasi paydo bo'ladi, ular o'zlari keltirilgan oq oqim tufayli ular kamroq ishlaydigan CMOS timsenlarida ko'proq qo'llaniladi.

2-rasmda ko'rsatilganidek, kremniyga asoslangan optik to'lqinlarning ko'p shakllari mavjud. Ular "Gerume Silli" Willi Sillica Wayafsid silika to'lqinlari bilan muzlatgichli to'lqinlar bilan. Bulumni aralashtirish orqali amalga oshirish mumkinFotodetorlarva elektr arizasiModulatorlarva ehtimol optik kuchaytirgichlar. Doping silikonida, aOptik modulyatorqilish mumkin. Chapdan o'ngga pastki qismida: Silikon Warewide, Silikon Nitridid ​​Watervid, kremniy oksinitrid to'lqinlari, ingichka kremicon nitridi va doplangan kremniy to'lqinlari bilan. Yuqori qismida, chapdan o'ngga, depozitariya modulalari, germaniy fotozetorlari va germaniyaOptik kuchaytirgichlar.

2-rasm: Odatda tarqalishning yo'qotishlari va refraktiv indekslarni ko'rsatadigan kremniylarga asoslangan optik to'lqin boshqaruvining kesishishi.